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晶體(tǐ)硅電(diàn)池交钥匙工程解决方案

适用(yòng)于旧線(xiàn)改造升级，对客户实施交钥匙工程。适用(yòng)于单、多(duō)晶硅光伏電(diàn)池片生产企业的新(xīn)線(xiàn)建设，对客户实施交钥匙工程。

晶硅電(diàn)池AGV智能(néng)生产線(xiàn)

取代人工搬运片篮、信息智能(néng)交互、资源智能(néng)管控，实现整線(xiàn)自动化生产，工厂智能(néng)化管理(lǐ)。

高效异质结(HJT)太阳能(néng)電(diàn)池智能(néng)生产線(xiàn)

适用(yòng)于高效异质结(HJT)太阳能(néng)電(diàn)池片生产企业的新(xīn)線(xiàn)建设。

单晶槽式制绒设备

主要对单晶硅太阳能(néng)電(diàn)池用(yòng)硅片进行绒面腐蚀和清洗处理(lǐ)。
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槽式RCA清洗设备

用(yòng)于扩散后的硅片去绕镀、清洗处理(lǐ)。

管式低压氧化退火设备

低压氧化、退火。
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管式低压硼扩设备

低压、高温硼扩散掺杂。
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管式低压磷扩设备

低压磷扩散掺杂。
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槽式碱抛光清洗设备

用(yòng)于扩散后的硅片抛光刻蚀、清洗处理(lǐ)，以及搭配双面電(diàn)池背面制绒、清洗处理(lǐ)。

管式A&P设备

AlO+SiN薄膜沉积。

管式PECVD设备

SiN、SiON等薄膜沉积。
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