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晶硅電(diàn)池AGV智能(néng)生产線(xiàn)
取代人工搬运片篮、信息智能(néng)交互、资源智能(néng)管控，实现整線(xiàn)自动化生产，工厂智能(néng)化管理(lǐ)。
全自动石英舟装卸片机
集装片和卸片一體(tǐ)，可(kě)从石英舟中把扩散后的硅片卸到片篮中，也可(kě)从片篮中将制绒后的硅片装入石英舟中。可(kě)在⼀个石英舟插槽中插⼊两片，实现单面扩散片工艺，也可(kě)在⼀个石英舟插槽中插入一片，实现双面扩散片工艺。采用(yòng)装片与卸片可(kě)连续衔接⽅式，实现连续生产；也可(kě)单独装片或单独卸片。
全自动石墨舟装卸片机
本设备為(wèi)在線(xiàn)式，可(kě)与一台或两台侧出舟设备对接，实现石墨舟的自动传输和硅片自动装卸，满足在太阳能(néng)電(diàn)池片生产过程中的PECVD工艺前后，将片篮中的硅片自动装载到石墨舟，并将石墨舟输送到PECVD设备中，或将PECVD设备中的石墨舟输送到本设备，并将石墨舟中的硅片自动装载到片篮中。
