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制备本征及掺杂非晶硅薄膜。
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板式透明导電(diàn)薄膜沉积设备(RPD/PAR/PVD)
板式物(wù)理(lǐ)镀膜设备用(yòng)于镀着透明导電(diàn)薄膜于衬底(硅片、玻璃片、柔性基板)。
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